瑞士Admotec Precision變壓器RO系列

瑞士Admotec Precision變壓器RO系列

　　瑞士Admotec-Precision（簡稱Admotec）是精密磁傳感器與旋轉變壓器領域的制造商，1987年成立于瑞士蘇黎世，核心技術為Rotasyn實心轉子無繞組旋轉變壓器，專注于ji端工況下的高精度角度/位置反饋，廣泛服務于半導體、航空航天、汽車、核能、工業自動化等行業。

　　Admotec-Precision的RO系列旋轉變壓器雖非專為半導體行業設計，但其高精度、強環境適應性、高可靠性及兼容性等特性，使其在該領域具備潛在應用價值，尤其在半導體制造設備的精密運動控制與ji端環境監測中可發揮關鍵作用。

　　核心應用場景與推薦型號（優先級排序）

　　1.光刻機（光刻物鏡/晶圓臺/雙工件臺）

　　光刻物鏡調焦/調平電機角度反饋：RO2010（20mm定子，≤4mm軸徑），高速微型，無接觸免維護，適配真空腔與高頻動態響應

　　晶圓臺/雙工件臺旋轉軸定位：RO3620/RO5032，多極對版本提升分辨率至±4弧分，配合高帶寬RDC實現納米級角度閉環

　　物鏡溫控模塊閥門角度反饋：RO2613，小型化，介質兼容，溫控精度輔助至±0.1°C

　　2.刻蝕機（反應腔/偏壓電極/氣體閥門）

　　反應腔高壓工藝閥門角度控制：RO5032-K（寬溫+鈦合金+高壓密封），耐受1600bar，耐腐蝕性氣體（如CF4、SF6）

　　偏壓電極/靜電卡盤（ESC）旋轉定位：RO3620，強EMI免疫，適配等離子體環境

　　刻蝕腔清潔機器人關節反饋：RO2010/RO2613，小型化，高速，潔凈室兼容

　　3.離子注入機/薄膜沉積（CVD/PVD/ALD）

　　離子束角度與掃描機構定位：RO3620，高速高精度，寬溫，強EMI免疫

　　氣體流量/工藝壓力閥門控制：RO5032，油浸/介質兼容，無密封設計，降低維護成本

　　沉積腔旋轉工作臺角度反饋：RO6040，中型定子，適配重載與高精度閉環

　　4.晶圓傳輸與自動化（機械臂/EFEM/AMHS）

　　晶圓傳輸機器人關節電機角度反饋：RO2010/RO2613，低慣性，高速，小型化，適配潔凈室與頻繁啟停

　　真空EFEM（設備前端模塊）旋轉軸定位：RO3620，無軸承無框架，真空兼容，密封電纜

　　三、半導體專項選型步驟（優先級排序）

　　工況匹配（優先級1）

　　真空/潔凈室→無軸承無框架RO系列+密封電纜+真空涂層

　　高速（>30,000RPM）→RO2010/RO3620+G1.0動平衡

　　寬溫/化學腐蝕→K級材質+鈦合金轉子+高壓密封

　　安全關鍵/冗余需求→冗余雙輸出RO型號

　　機械集成（優先級2）

　　定子外徑、氣隙、軸徑適配；安裝方式（壓接/法蘭/夾緊）

　　高速需G1.0級動平衡；真空腔需無軸承無框架+密封航空插頭

　　電氣與信號處理（優先級3）

　　電源頻率（400Hz至10kHz）、電壓、輸出信號類型與RDC兼容

　　電纜長度與屏蔽，適配半導體EMC要求；可定制冗余雙輸出

瑞士Admotec Precision變壓器RO系列