Admotec Precision變壓器RO系列在半導體行業

　　瑞士Admotec-Precision（簡稱Admotec）是精密磁傳感器與旋轉變壓器領域的制造商，1987年成立于瑞士蘇黎世，核心技術為Rotasyn實心轉子無繞組旋轉變壓器，專注于工況下的高精度角度/位置反饋。

　　Admotec-Precision的RO系列（Rotasyn實心轉子旋轉變壓器，非電力變壓器）在半導體行業的核心應用、技術適配點。

　　RO系列憑借無軸承無框架+實心無繞組轉子+恒定氣隙+寬溫耐壓密封設計，適配半導體制造的真空、高溫、化學腐蝕、強EMI/等離子體、高速高精度定位等ji端工況。

　　核心應用場景與推薦型號（優先級排序）

　　1.光刻機（光刻物鏡/晶圓臺/雙工件臺）

　　光刻物鏡調焦/調平電機角度反饋：RO2010（20mm定子，≤4mm軸徑），高速微型，無接觸免維護，適配真空腔與高頻動態響應

　　晶圓臺/雙工件臺旋轉軸定位：RO3620/RO5032，多極對版本提升分辨率至±4弧分，配合高帶寬RDC實現納米級角度閉環

　　物鏡溫控模塊閥門角度反饋：RO2613，小型化，介質兼容，溫控精度輔助至±0.1°C

　　2.刻蝕機（反應腔/偏壓電極/氣體閥門）

　　反應腔高壓工藝閥門角度控制：RO5032-K（寬溫+鈦合金+高壓密封），耐受1600bar，耐腐蝕性氣體（如CF4、SF6）

　　偏壓電極/靜電卡盤（ESC）旋轉定位：RO3620，強EMI免疫，適配等離子體環境

　　刻蝕腔清潔機器人關節反饋：RO2010/RO2613，小型化，高速，潔凈室兼容

　　3.離子注入機/薄膜沉積（CVD/PVD/ALD）

　　離子束角度與掃描機構定位：RO3620，高速高精度，寬溫，強EMI免疫

　　氣體流量/工藝壓力閥門控制：RO5032，油浸/介質兼容，無密封設計，降低維護成本

　　沉積腔旋轉工作臺角度反饋：RO6040，中型定子，適配重載與高精度閉環

　　4.晶圓傳輸與自動化（機械臂/EFEM/AMHS）

　　晶圓傳輸機器人關節電機角度反饋：RO2010/RO2613，低慣性，高速，小型化，適配潔凈室與頻繁啟停

　　真空EFEM（設備前端模塊）旋轉軸定位：RO3620，無軸承無框架，真空兼容，密封電纜

　　RO系列旋轉變壓器在機械和電氣上與傳統無刷旋轉變壓器兼容，可以方便地替換原始設備或現有設備中的傳感器，實現設備升級。同時，AdmotecPrecision還提供定制化服務，可根據半導體制造設備的特定需求，設計不同尺寸、繞組特性、高溫/高輻射絕緣材料（如Kapton）、更大氣隙等定制產品，滿足特殊應用場景的需求。